有別於一般水平式板面清潔設備，設備幅寬只有 300mm。

只需傳統設備的 1/3 以下空間，能大幅減少佔地面積，且方便移動，能靈活地依使用者位置做調整。

入片口有離子式除靜電棒，能去除基板表面靜電。

每次入片同時做雙面清潔，大幅提高效率搭配4根黏塵滾輪，能有效黏除板面異物。

例如: 放置於AOI密集度高的板面清潔前製程區,讓2位作業人員共用一台,平均清潔速度較傳統快上5~8倍。