遠赤外線ヒータを使用したコンベアー炉で基板を素早い加熱します。
上下合わせ41本のローラで基板の反りを伸ばします。入り側は強く基板を押し、出側は弱く押します。
ファンにより室温で基板を徐々に冷やし、反りの戻りを押さえます。